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潔凈室檢測-電子廠塵埃粒子測試

簡要描述:潔凈室檢測-電子廠塵埃粒子測試 潔凈度檢測 GB50472-2008 電子廠房設計規(guī)范同GB50073-2013潔凈廠房設計規(guī)范潔凈度的測試方法一致,采樣點應均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個面積內(nèi),并應位于工作區(qū)的高度,活動高度宜距離地面0.8每個采樣點的最小采樣時間為1min.每一采樣點的每次采樣量應至少為2L,采樣量應按下式計算:

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):工程商
  • 更新時間:2022-12-05
  • 訪  問  量:1276

詳細介紹

潔凈室檢測-電子廠塵埃粒子測試 GB50472-2008 電子廠房設計規(guī)范GB50073-2013潔凈廠房設計規(guī)范潔凈度的測試方法一致

潔凈室檢測-電子廠塵埃粒子測試潔凈度的檢測,應符合下列規(guī)定:

1、應使用采樣量大于1Lmin光學粒子計數(shù)器(激光塵埃粒子計數(shù)器),應根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應有有效的標定合格證書。

潔凈度檢測



2、最少采樣點應按下式計算:

NLA

式中NL——最少采樣點;

A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積()

3、采樣點應均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個面積內(nèi),并應位于工作區(qū)的高度,活動高度宜距離地面0.8m;每個采樣點的最小采樣時間為1min.


4、每一采樣點的每次采樣量應至少為2L,采樣量應按下式計算:

Vs={20/ Cn.m}×1000

式中:Vs——每個采樣點的每次采樣量,以L表示;當Vs很大時,可使用順序采樣法;
Cn.m——被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值(pc/m3);
20
——在規(guī)定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時,可測到的粒子顆數(shù)(pc)。
5 、當潔凈室或潔凈區(qū)僅有一個采樣點時,則在該點應至少采樣3次。

潔凈室檢測-電子廠潔凈度塵埃粒子測試 判定參考表格

GB50073-2013潔凈廠房設計規(guī)范

空氣潔凈等級(N

最高濃度極限(顆粒數(shù)/m3

近似對應傳統(tǒng)規(guī)格

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1.0μm

5.0μm

1

10b

2






2

100

24

10

4




3

1,000

237

102

35

8


1

4

10,000

2,370

1,020

352

83


10

5

100,000

23,700

10,200

3,520

832

29

100

6

1,000,000

237,000

102,000

35,200

8,320

293

1,000

7




352,000

83,200

2,930

10,000

8




3,520,000

832,000

29,300

100,000

9




35,200,000

8,320,000

293,000


潔凈度檢測



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